ISO 14644 1 (1999) 定义 9 个级别的微粒数量限定。当空间内每立方米的漂浮微粒数量不超过该级别的限定,空间的洁净度就符合该级别。下列图表摘要级别的 0.1 micron 至 5 micron 的微粒数量限定。
Simco Ion 型号 5635 MP 离子棒的设计是使用在 ISO 14644 1 Class 1 洁净度的环境 (每立方米少过 10 粒@≥0.1 micron 的微粒)。如把输出功率设在 45 50% 和使用 OpenJet 风嘴和单晶硅静电针,它可兼容 ISO 14644- 12洁净度 (每立方米少过 1200 粒@ ≥0.01 micron 的微粒)。