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MC-2000 系列水平式粘尘清洁机

    清洁滚轮式粘尘机MC系列闪亮登场。该系列粘尘机采用非接触式驱动系统,无任何异物产生!采用非接触式驱动系统的MC系列粘尘机的诞生,弥补了采用皮带或链条驱动方式的传统粘尘机的驱动部容易产生异物的缺点,并且在操作性及性能方面远远高于传统粘尘机。

    本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成,用来清除基板上的灰尘与垃圾。 清洁胶纸与清洁滚轮的抽屉式拉出机构,方便物品更换与保养。具有跳跃功能,滚轮在和曝光膜接触前,上方滚轮通过传感器自动感应并跳跃过曝光膜的前端有效防止了卷膜的发生。并且可以预防超薄基板的卷板现象发生。

     

    操作的便利性

    可按基板尺寸传送。可手动轻松调节传送清洁基板。有2种运行方式可选择:单面清洁、过板。基板上装有电子无件后也可以进行清洁。

     

    基板线路间沟槽垃圾清洁

    特殊毛刷+粘尘滚轮的最佳除尘组合方式。毛刷组件+真空回收系统对基板线路间沟槽内垃圾进行清除并回收。清洁滚轮+清洁胶纸对残留在基板表面的细微异物进行清洁。通过双重清洁,达到最佳的清洁效果

     

    维护保养的便利性

    清洁胶纸与清洁滚轮采用抽屉式,便于自动连线中的操作。


  • 产品参数

    清洁滚轮式粘尘机MC系列闪亮登场。该系列粘尘机采用非接触式驱动系统,无任何异物产生!采用非接触式驱动系统的MC系列粘尘机的诞生,弥补了采用皮带或链条驱动方式的传统粘尘机的驱动部容易产生异物的缺点,并且在操作性及性能方面远远高于传统粘尘机。

    本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成,用来清除基板上的灰尘与垃圾。 清洁胶纸与清洁滚轮的抽屉式拉出机构,方便物品更换与保养。具有跳跃功能,滚轮在和曝光膜接触前,上方滚轮通过传感器自动感应并跳跃过曝光膜的前端有效防止了卷膜的发生。并且可以预防超薄基板的卷板现象发生。

     

    操作的便利性

    可按基板尺寸传送。可手动轻松调节传送清洁基板。有2种运行方式可选择:单面清洁、过板。基板上装有电子无件后也可以进行清洁。

     

    基板线路间沟槽垃圾清洁

    特殊毛刷+粘尘滚轮的最佳除尘组合方式。毛刷组件+真空回收系统对基板线路间沟槽内垃圾进行清除并回收。清洁滚轮+清洁胶纸对残留在基板表面的细微异物进行清洁。通过双重清洁,达到最佳的清洁效果

     

    维护保养的便利性

    清洁胶纸与清洁滚轮采用抽屉式,便于自动连线中的操作。


特色

非接触式驱动+棘轮机构(MDC方式)

清洁部电机和清洁滚轮之间使用磁力驱动轮进行非接触式驱动:可以完全杜绝从驱动部产生垃圾。驱动部不使用任何齿轮,传送皮带等部品,消耗品少,维护成本低。另外,清洁滚轮的磁力驱动轮上装有棘轮机构,可以吸收粘尘机的前后机器的速度差,保持速度一致。

清洁滚轮的跳跃功能

当基板被传送到粘尘机入口时,通过传感器的感应使上滚轮自动跳跃过基板前端后回落接触基板,可以有效防止薄板卷板或卷膜现象发生。

维护保养的便利性

抽屉式胶纸和清洁滚轮的拉出机构便于清洁胶纸的切割与滚轮的更换;除静电棒可以从机器后方拔出,便于对除静电棒针头的清扫;清洁滚轮和驱动轴的连接方式采用连接器固定,和传统的作业时间缩短两倍以上,降低了人工维护成本。

 

采用非接触式MDC驱动系统

为防止动部产生异物,驱动部不使用任何齿轮或皮带,采用非接触式MDC驱动系统,加装吸收粘尘机前后机器速度差的棘轮机构,使之保持速度一致。

※详细内容请阅览此页下方的“有此现象发生的经历吗”部分。

对板厚40um的基板也能实理正常清洁,不会卷板

清洁滚轮之间的间隔距离的大小是薄板是否会发生卷板的关键所在。该机滚轮之间的间隙距离只有20mm,有效防止清洁薄板时发生卷板现象。并且配备滚轮跳跃功能及安装传送导向部件,即使在进行板厚40um的基板清洁时也不会发生卷板现象。

在异物回收时,采用1:1方式配对清洁胶纸与清洁滚轮

此方式增强了清洁胶纸清洁滚轮的追随性,与传统粘尘机的1根清洁胶纸配对2根清洁滚轮的机构相比,提高了对清洁滚轮上粘附异物回收的稳定性,从而提高基板表面的除尘效果。

抽屉式清洁胶纸和清洁滚轮的拉出机构

便于清洁滚轮的清洁、更换及清洁胶纸的切割、更换。

配备清洁滚轮跳跃功能

当基板被传送到清洁滚轮的前方时,通过感应器的感应使上方清洁滚轮向上跳起跃过基板前端后回落接触基板,可以有效防止薄板止薄板卷板或卷膜现向发生。

为了保持无尘室的洁净度,电气部品的竖立式安装结构可以让机体内部的空气与无尘室内的空气更好的进行空气对流循环,使之通畅无阻,避免灰尘堆积在机体内部。

 

有此现象发生的经历吗?

在实际生产中有过【基板通过粘尘机时会摇晃】的现像发生的经历吗?原因是粘尘机与前后设备存在的速度差而引起的,此现象会造成基板除尘效果下降、有可能造成粘尘机或前后设备损坏。MC系更粘尘机配备了能够吸收沾尘机与前后机器速度差的棘轮机构,使之保持速度一致,避免故障发生的机率。



MC-2000 系列水平式粘尘清洁机
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