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AeroBar 5635 MP 离子棒

    Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平 衡,是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5635 MP 离子 棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整,使它能达到 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。 选配的吹气辅助功能,在洁净要求不高的环境,能加快离子的推送,得到更快的消散时间和有更 远的工作距离。

    Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数-输出电压,脉冲频率,正负平 衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时,静电针的间距是 5 cm,这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。

     

  • 产品参数

    Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平 衡,是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合-产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5635 MP 离子 棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整,使它能达到 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。 选配的吹气辅助功能,在洁净要求不高的环境,能加快离子的推送,得到更快的消散时间和有更 远的工作距离。

    Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数-输出电压,脉冲频率,正负平 衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时,静电针的间距是 5 cm,这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。

     

5635 MP

输入电压

24 VDC ±10%

输出电压

13.5kV p-p(Max),可调

工作距离

由 15 cm 至 100 cm,根据应用需求或客户规格决定

脉冲定频

由 1 Hz 至 33 Hz,可调,默认设定 - 5 Hz

平衡电压

自动平衡系统,在可控环境下,整根棒能长期保持在 <±20V @ 61 cm 工作距离

电离技术

调制脉冲 (MP) 技术

静电针材质

单晶硅

风嘴间距

可选 50 mm 或 75 mm;棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm

符合洁净度

兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644- 1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率:45-50%)

供气要求

CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气

气压要求

45 psi (最大);由选配的 8 mm 外径快速接口接入,每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量

臭氧产生

<0.05 ppm

EMI

低于背景水平

操作环境

15-35℃,30-60% RH,无冷凝

设    定

DIP 开关设定电源输入选择,有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡,工作频率,功率输出,也可以序列埠输出连接电脑软件作调整

封    装

ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈

体    积

78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/175 0/1900/2050/2200/2350L mm

型号 5601 电源分配盒(选配)

输入电压

24 VDC 提供给一组4 根棒,组内每个端口最多需要 0.7A 电流;总电流要求 5.6A

通    信

以太网 (RJ-45) 接连电脑;个别离子棒的待机输入

警报输出

继电接点连地

输出端口

8 个 RJ-45 端口,每根棒接一个端口

LED 显示

电源 - 绿,通信 - 黄,警报 - 红,LAN 通信 - 蓝

重    量

0.42kg

体    积

31 x 160 x 92 mm



AeroBar 5635 MP 离子棒
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