SIMCO-ION Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术把高频正旋周波和调制脉冲结合产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5630 能维持长时间的高效工作而不需清洁,相较传统脉冲 AC 技术,有更长的清洁周期。在棒长 450 mm 和 600 mm 时,静电针的间距是 50 mm,棒长 850 mm 至 2350 mm 的静电针的间距是 75 mm。5630 MP离子棒标准配置是 QTC27 TurboJet 风嘴和钛金属静电针,提供高效而长清洁周期。
SIMCO-ION Aerobar 5630 MP离子棒能容易设置和微调参数输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。可垂直和横放安装,容易满足不同的应用环境,如机内插槽,传输带,加载和卸载进出口。
SIMCO-ION Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术把高频正旋周波和调制脉冲结合产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5630 能维持长时间的高效工作而不需清洁,相较传统脉冲 AC 技术,有更长的清洁周期。在棒长 450 mm 和 600 mm 时,静电针的间距是 50 mm,棒长 850 mm 至 2350 mm 的静电针的间距是 75 mm。5630 MP离子棒标准配置是 QTC27 TurboJet 风嘴和钛金属静电针,提供高效而长清洁周期。
SIMCO-ION Aerobar 5630 MP离子棒能容易设置和微调参数输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。可垂直和横放安装,容易满足不同的应用环境,如机内插槽,传输带,加载和卸载进出口。
5630 MP | |
输入电压 | 24 VDC ±10% |
输出电压 | 13.5kV p-p(Max),可调 |
工作距离 | 由 15 cm 至 100 cm,根据应用需求或客户规格决定 |
脉冲定频 | 由 1 Hz 至 33 Hz,可调,默认设定 - 5 Hz |
平衡电压 | 自动平衡系统,在可控环境下,整根棒能长期保持在 <±20V @61 cm 工作距离 |
工作效能 | TurboJet 风嘴:<3.5 秒 @ (±1000-100V,HEPA 下工作距离 60 cm 和 0.3 m/s 风速,和 每风嘴供气 3 liter/min,根据ANSI/ESD-STM3.1-2006 Ionization 标准); OpenJet 风嘴:15 秒 (典型),Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助,在棒中下面 61 cm 工作距离) |
电离技术 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
静电针材质 | 钛 |
风嘴间距 | 可选 50 mm 或 75 mm;棒长 450 mm 和 600 mm 只可选50 mm |
符合洁净度 | 满足 ISO 14644-1 Class 3 标准 |
供气要求 | CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气 |
气压要求 | 45 psi (最大);由选配的 8 mm 外径快速接口接入,每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量 (选配) |
臭氧产生 | < 0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
操作环境 | 15-35℃,30-60% RH,无冷凝 |
设 定 | DIP 开关设定电源输入选择,有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡,工作频率,功率输出,也可以序列埠输出连接电脑软件作调整 |
封 装 | ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
体 积 | 78 x 34 x 长度 - 450,600,850,1000,1150,1300,1450,1600,1750,1900,2050,2200,2350L mm |
型号 5601 电源分配盒(选配) | |
输入电压 | 24 VDC 提供给一组 4 根棒,组内每个端口最多需要 0.7A 电流;总电流要求 5.6A |
通 信 | 有以太网端口 (RJ-45) 连接电脑,每根棒有独立待机信号 |
警 报 | 输出继电接点连地 |
输出端口 | 8 个 RJ-45 端口,每根棒接一个端口 |
LED 显示 | 电源 - 绿,通信 - 黄,警报 - 红,LAN 通信 - 蓝 |
重 量 | 0.42kg |
体 积 | 31 x 160 x 92 mm |