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文件标题 : AeroBar 5630 MP 离子棒
文件类型 : pdf
上传时间 : 2021-11-11 12:07:46
下载次数 : 4
文件大小 : 255KB
更新时间 : 2021-11-11 12:07:46

详细介绍

Simco-Ion Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5630 能维持长时间的高效工作而不需清洁,相较传统脉冲 AC 技术,有更长的清洁周期。

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